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用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹

發(fā)布時間：2024-11-12　點(diǎn)擊量：903

用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹

CCMT-D系列是電容式壓力計，其陶瓷膜片因氣壓變化而變形，并通過電容的變化來檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結(jié)構(gòu)，因此具有優(yōu)異的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性，無論何種氣體（絕對壓力表），都可以精確測量低真空和中真空區(qū)域的壓力。

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目的

  • 用于薄膜沉積設(shè)備過程中的壓力監(jiān)測

  • 用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)測。

  • 用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測

特征

  • 長期穩(wěn)定

  • 由于使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性

  • 內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路型

  • 新采用的結(jié)構(gòu)可保護(hù)傳感器免受污垢影響

  • 可通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整

規(guī)格

模型CCMT-D
測量
滿量程		CCMT-1000D133kPa 滿量程
CCMT-100D13.3kPa滿量程
CCMT-10D1.33kPa滿量程
CCMT-1D133Pa 滿量程
解決整個案例為 0.003%
準(zhǔn)確度*1±0.2%示值
±溫度系數(shù)
溫度系數(shù)零電壓0.005%FS/℃
量程電壓0.01% R/℃
工作溫度范圍10~50℃
響應(yīng)速度30毫秒或更短
氣體接觸材料Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3
輸入功率DC14~30V，1W
輸出直流0~10VF.S
大量的329g（直徑12.7/標(biāo)準(zhǔn)型）
外形尺寸直徑55mm x 117mm（直徑12.7mm，標(biāo)準(zhǔn)型）
配件標(biāo)準(zhǔn)：直徑12.7管材
選項：NW16KF、Cajon 8VCR
溫度補(bǔ)償內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路
輸入/輸出連接器D-sub 15 針公頭
*1：打開電源2小時后，工作環(huán)境溫度為25℃。
*2：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
*3：28%鎳、23%鈷、49%鐵